TFT-LCD制造技术与工艺

2015-09-30 10:25:11

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)通常采用两个加工过程并行进行加工成成品，如图1所示。其基本工艺如下：

　　通过前玻璃基板/彩色滤光基板工艺过程形成精确排列的彩色滤光层。

　　薄膜基板工艺形成薄膜晶体管液晶(TFT)阵列及显示器像素控制所用其它电子元件。每个像素一般对应三个薄膜晶体管液晶(TFT)，每个像素控制一个共同构成一个像素的“色点”。薄膜形成工艺采用与半导体制造技术相类似的CVD、Etch及PVD等工艺技术。此类工艺步骤应反复数次，连续膜层方可形成一个功能元件(图2)。